TinySEMシリーズ
オプション製品


広がる TinySEM の可能性

TinySEMは、オプション製品により、さまざまな用途に対応いたします。
またオプション製品以外のカスタマイズにも、ご要望に応じて製作いたします。詳しくはお問い合わせください。

オプション製品

TinyEDXS

本装置は走査型電子顕微鏡TinySEMに取り付けてエネルギー分散型X線分析を行うための装置でX線検出器パッケージとコントロールボックスより構成されます。

カタログのダウンロードはこちら(PDF)

仕様例:

検出器有効面積 10mm2
検出器形式 シリコンドリフト検出器(SDD)
エネルギー分解能 130eV FWHM (@5.9keV)
検出可能元素 C(6)~Am(95)
検出器窓 軽元素用有機膜窓(サポートグリッドつき)
冷却方式 2 段階電子冷却式(液体窒素不要)
パルスプロセッサ 10eV/ch
解析ソフトウェア 1.スペクトル表示
マーカー表示、水平/垂直任意拡大
2.定性分析
自動定性、手動定性
3.定量分析
スタンダードレスZAF補正、100%ノーマライズ法
4.線分析
SEM像上で分析位置指定、データCSV出力可
5.面分析
同時8元素可能

TinyProber卓上型走査電子顕微鏡TinySEM用プローバ

試料の電気的測定に必須、マニピュレータとしてもお使いいただけます。

SEM内で、試料にプローブを当て、電圧を印加したり、電流を測定したりできます。最大4本装着可能です。X,Y,Zはマニュアルで微調整ができ、電気的な端子として同軸コネクタが付いています。マニピュレータとしても使用できます。
TinySEMシリーズの大型試料室に装着して使用します。

仕様例:

微動範囲 X:5mm Y:5mm Z:5mm
同軸コネクタ SMA
探 針 タングステン線(先端電界研磨)

TinySEMの世界を垣間みれるカフェテラス Tiny Cafetrrace