カスタマイズ実績
TinyProber卓上型走査電子顕微鏡TinySEM用プローバ
試料の電気的測定に必須、マニピュレータとしてもお使いいただけます。
SEM内で、試料にプローブを当て、電圧を印加したり、電流を測定したりできます。最大4本装着可能です。X,Y.Zはマニュアルで微調整ができ、電気的な端子として同軸コネクタが付いています。TinySEMシリーズの大型試料室に装着して使用します。
仕様例：
| 微動範囲 | X：5mm Y：５mm Z：5mm |
| 同軸コネクタ | SMA |
| 探 針 | タングステン線（先端電界研磨） |
試料加熱装置
ヒータで試料を数100℃まで加熱し、その様子をSEM観察します。電極をつけて電気特性を測定することも可能です。仕様打ち合わせにより、特注にて対応いたします。
仕様例：
| 最高温度 | 500℃ |
| ヒーター | マイクロセラミックヒーター |
| 温度センサー | 熱電対(Kタイプ) |
| 試料サイズ | 5mm × 5mm |
ロードロックコンテナ卓上走査型電子顕微鏡 TinySEM用オプション
反応性の高い試料のサンプルを大気に暴露することなく、SEM観察が可能です。
ロードロック室が着脱可能になっており、試料コンテナとして使用します。
主な仕様
| サンプル台 | φ15mmアルミ資料台 |
| 真空ポンプ | ロータリーポンプ |
EBSD実験キット
TinySEMで電子後方散乱回折（Electron Back-Scatter Diffiaetion : EBSD）
パターンが撮れ、結晶相や結晶方位の決定が可能です。
写真はシリコン表面から撮られたEBSDパターンです。
パターンの解析にはウェブ上で無料で公開されているプログラム（SFC,東京大学大学院理学系研究科 小暮敏博 博士）などが利用可能です。
キット内容：
1. 蛍光版
2. 高感度カメラ
3. 専用電子レンズ
その他
用途に合わせた、TinySEMのカスタマイズご相談ください。
