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製品案内

永久磁石型電子レンズの 軽量・小型SEM

TinySEMシリーズは、高性能と「軽量・小型」で扱いやすいことをコンセプトとして開発された 小型SEMです。 光学顕微鏡並みの手軽さや、除振台不要で分解しての持ち運びが可能で、研究用途に好評いただいております。ご要望頂ければ、お客様の用途にあわせカスタマイズが可能です。

- TinySEM Line up -

-オプション製品 -

小型化による特徴

● 汎用SEMと同等機能をコンパクトに実現
● 軽量のためで移動が容易で、振動に強い。除振台が不要です
● 改造しやすく、特注にも対応するため、研究現場にオススメ
● 感度が高く、チャージアップ現象が少ない
● 電子光学系の調整がしやすい


低コストで交換可能な電子銃

従来の汎用小型SEM TinySEM
交換方法 ベースごと使い捨て リサイクル方式
綿材のみ交換
コスト 割高 非常に低コスト

永久磁石レンズ採用で、光顕のような手軽さ

従来の汎用小型SEM TinySEM
種 類 電磁レンズ 永久磁石レンズ
特 徴 ・高性能定電流電源必要
 収差が出やすい
・サイズ、重量大
・要発熱対策
・コスト高
・電源不要
 電源による収差なし
・サイズ、重量非常に小
 交換レンズ可能
・発熱なし
・低コスト
・非点収差合わせ容易

試料微動、検出器

● ユーセントリックス5軸テージ
● 高角度傾斜可能
● 振動に強い
● フィードスルー
● 取付可能
● 高感度二次電子検出感度
  深い焦点深度; ステレオ写真; チャージアップが少ない; 無蒸着観察
● 4分割型反射電子検出器(オプション) 組成像、凹凸像


使いやすい制御インターフェイス

基本機能に限定に使いやすい制御インターフェイスを実現。


TinySEMの構造


- TinySEM Line up -

TinySEMの世界を垣間みれるカフェテラス Tiny Cafetrrace