永久磁石型電子レンズの 軽量・小型SEM
TinySEMシリーズは、高性能と「軽量・小型」で扱いやすいことをコンセプトとして開発された 小型SEMです。 光学顕微鏡並みの手軽さや、除振台不要で分解しての持ち運びが可能で、研究用途に好評いただいております。ご要望頂ければ、お客様の用途にあわせカスタマイズが可能です。
- TinySEM Line up -
-オプション製品 -
小型化による特徴
● 汎用SEMと同等機能をコンパクトに実現
● 軽量のためで移動が容易で、振動に強い。除振台が不要です
● 改造しやすく、特注にも対応するため、研究現場にオススメ
● 感度が高く、チャージアップ現象が少ない
● 電子光学系の調整がしやすい
低コストで交換可能な電子銃
| 従来の汎用小型SEM | TinySEM | |
| 交換方法 | ベースごと使い捨て | リサイクル方式 綿材のみ交換 |
| コスト | 割高 | 非常に低コスト |
永久磁石レンズ採用で、光顕のような手軽さ
| 従来の汎用小型SEM | TinySEM | |
| 種 類 | 電磁レンズ | 永久磁石レンズ |
| 特 徴 | ・高性能定電流電源必要 収差が出やすい ・サイズ、重量大 ・要発熱対策 ・コスト高 |
・電源不要 電源による収差なし ・サイズ、重量非常に小 交換レンズ可能 ・発熱なし ・低コスト ・非点収差合わせ容易 |
試料微動、検出器
● ユーセントリックス5軸テージ
● 高角度傾斜可能
● 振動に強い
● フィードスルー
● 取付可能
● 高感度二次電子検出感度
深い焦点深度； ステレオ写真; チャージアップが少ない； 無蒸着観察
● 4分割型反射電子検出器(オプション） 組成像、凹凸像
使いやすい制御インターフェイス
基本機能に限定に使いやすい制御インターフェイスを実現。
TinySEMの構造
- TinySEM Line up -
