高真空・低真空に対応
M3-iでは従来の高真空モードに加え、新たに低真空モードが追加になりました。これに伴い検出器に反射電子検出器が追加され、従来からの二次電子検出器と合わせて２種類の検出器の切替が可能となりました。反射電子検出器では、組成像や凹凸像の観察が可能です。
主な特徴
20Pa マシナブルセラミクス
低真空モードで試料の前処理不要
生物試料のように含水性の試料であっても、比較的長い時間観察できます。 従来の装置では、生物系試料は観察中に乾燥が進み収縮してしまいましたが低真空モードで観察すると本来の形状が観察できます。
花粉
含水性の試料観察も可能に
低真空モードでチャージ現象をなくす事ができ、前処理不要となりました。 低真空でチャージアップ現象が低減され、しかも加速電圧を高くして高分解能での観察が可能となります。
真空度が自由に調節できるニードルバルブ搭載
低真空モードでの観察は、必要以上に真空度を下げるとノイズが増大し像質が劣化します。そこで、真空度を試料によって最適に調整できるようニードルバルブを付けました。これで、試料に合わせてチャージアップ現象が消えるギリギリの真空度で像質の劣化を最低限に抑え観察することができます。
カスタマイズが簡単！
レンズ交換以外にも、シンプルな構造で各ブロックごとに簡単に分解でき、それぞれの部分のカスタマイズも研究室ごとニーズにあわせて納品できます。
製品仕様
| 加速電圧 | 2kV、17kV（1kV、5kVオプション） |
| 電子銃 | タングステン熱電子タイプ （ガンモニター機能付き） |
| 電子レンズ | 永久磁石型電子レンズ系 |
| 試料室真空度 | 高真空モード/低真空モード（真空度調整可能） バルブ操作でモード切換可能 |
| 倍率 | ｘ25（2kV）：ｘ30（17kV）～x100,000 |
| 検出器 | 2次電子検出器、4分割半導体型反射電子検出器 スイッチで切換 |
| 分解能 | 約10nm(17kV) ：約30nm(2kV) |
| 非点収差補正 | マニュアル（モニタ機能付き） |
| 排気系システム | ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ |
| 排気時間 | 約3分 |
| EDXS装着 | 可（オプション） |
| 試料微動 |
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| 画像メモリ | 8ビット 640 X 480画素 フィルタ機能付き | ||||||||||||
| 内部メモリ | CF（コンパクトフラッシュ）カードインターフェイス内蔵 | ||||||||||||
| PC インターフェイス |
USB2.0 画像取込ソフト（TinyCapture） 画素数 2560ｘ1920,1280x960、640ｘ480 階調 8ビット データフォーマット：BMP、TIFF、JPEG、GIF、PNG 対応OS：Widows7,Xp,Vista |
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| 画像表示 | 8インチ液晶モニタTV | ||||||||||||
| 寸法・重量 |
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| 電源 | 単相AC100V（50/60Hz）500W | ||||||||||||
| 本体価格 | ¥6,500,000.- (税抜） |
デモなども行っております。 詳しくはお問い合わせください。
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