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TinySEM の可能性
TinySEMは、オプション製品により、さまざまな用途に対応いたします。
またオプション製品以外のカスタマイズにも、ご要望に応じて製作いたします。詳しくはお問い合わせください。
オプション製品
TinyProber卓上型走査電子顕微鏡TinySEM用プローバ
試料の電気的測定に必須、マニピュレータとしてもお使いいただけます。
SEM内で、試料にプローブを当て、電圧を印加したり、電流を測定したりできます。最大4本装着可能です。X,Y,Zはマニュアルで微調整ができ、電気的な端子として同軸コネクタが付いています。マニピュレータとしても使用できます。
TinySEMシリーズの大型試料室に装着して使用します。
仕様例：
| 微動範囲 | X：5mm Y：５mm Z：5mm |
| 同軸コネクタ | SMA |
| 探 針 | タングステン線（先端電界研磨） |
